MX6R半導體檢查顯微鏡各項操作根據人機工程學設計，Zui大限度減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設計，可對系統功能進行自由組合。涵蓋明場、暗場、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能，可根據實際應用，進行功能選擇。
MX6R各項操作根據人機工程學設計，Zui大限度減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設計，可對系統功能進行自由組合。涵蓋明場、暗場、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能，可根據實際應用，進行功能選擇。
寬視場鉸鏈式三目觀察筒
正像鉸鏈三目觀察筒，所成像的方位與物體實際方向相同，物體移動的方向跟像面移動的方向相同，便于觀察與操作。
大行程移動平臺設計
采用6寸平平臺設計，行程158×158mm，可適用于對應尺寸的晶圓或FPD檢測，也可用于小尺寸樣品的陣列檢測。
高精度物鏡轉換器
轉換器采用精密軸承設計，轉動手感輕巧舒適，重復定位精度高，物鏡轉換后的同心度也得到較好的控制。
安全、穩重的機架結構設計
工業檢測級顯微鏡鏡體，低重心、高剛性、高穩定性金屬機架，保證了系統的抗震能力與成像穩定性。
其前置低手位粗微調同軸調焦機構，內置100-240V寬電壓變壓器，可適應不同地區的電網電壓。底座內部設計有風循環散熱系統，長時間使用也不會使機架過熱。
技術參數
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光學系統 |
無限遠色差光學系統 | |
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觀察方式 |
明場/暗場/偏光/DIC |
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觀察筒 |
30°傾斜，正像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節：50-76mm，分光比100:0或0:100 |
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| 30°傾斜，倒像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節：50-76mm，三檔分光比0:100；20:80；100:0 | ||
| 5-35°傾角可調，正像，無限遠鉸鏈三通觀察筒，瞳距調節：50-76mm，單邊視度調節：±5屈光度，兩檔分光比100:0或0:100 | ||
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目鏡 |
高眼點大視野平場目鏡PL10X/22mm，視度可調，可帶側微尺 |
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| 高眼點大視野平場目鏡PL10X/23mm，視度可調 | ||
| 高眼點大視野平場目鏡PL10X/25mm，視度可調 | ||
| 高眼點大視野平場目鏡PL10X/26.5mm，視度可調 | ||
| 高眼點大視野平場目鏡PL15X/16mm | ||
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物鏡 |
無限遠長工作距平場明暗場消色差金相物鏡5X-DIC、10-DICX、20X-DIC、50X、100X |
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| 明暗場半復消金相物鏡5X、10X、20X、50X、100X | ||
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轉換器 |
5孔內傾式明暗場轉換器，帶DIC插槽 |
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調焦機構 |
反射式機架 , 前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程 33mm, 微調精度 0.001mm. 帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置.內置 100-240V 寬電壓系統 , 帶光亮度設定暗扭與復位按扭 |
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| 透、反射式機架 , 前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程 33mm, 微調精度 0.001mm. 帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置.內置 100-240V 寬電壓系統，5W暖色LED透射光照明系統，上下光獨立可控 | ||
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載物臺 |
6英寸三層機械移動平臺，低手位X、Y方向同軸調節；平臺面積445mm×240mm，移動范圍：158mm×158mm；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內快速移動；玻璃載物臺板（反射用） |
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| 6英寸三層機械移動平臺，低手位X、Y方向同軸調節；平臺面積445mm×240mm，反射照明移動范圍：158mm×158mm；透射照明移動范圍：100×100mm；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內快速移動；玻璃載物臺板（透、反射用） | ||
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照明系統 |
明暗場反射照明器 , 帶可變孔徑光闌，視場光闌 , 中心均可調 ；帶明暗場照明切換裝置 ；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 |
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攝影攝像 |
0.35X/0.5X/0.65X/1X攝像接筒，C型接口，可調焦 |
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其他 |
起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉式檢偏鏡插板 ；反射用干涉濾色片組 ；高精度測微尺 ；DIC 微分干涉組件 |
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